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Medida de emerger roughness

Título: Medida de emerger roughness

Inventor/es: Jakeman; Eric

Pusey; Peter Nicholas

Fecha de solicitud: 27 de Julio de 1976

Resumen:
El roughness de una superficie está determinada por dirigir una viga de láser, u otra radiación electromagnética, a un número de áreas pequeñas de la superficie dentro vuelta y midiendo intensidad de la radiación esparcida del pequeño illuminated las áreas con detectoras arreglaron en un número de ángulos a la superficie. Ambos la altura de irregularidades de superficie y la longitud de onda estadística mediana pueden ser encontradas sin contacto físico con la superficie áspera.

Breve sumario:
Esta invención relaciona a la medida de superficie roughness o irregularidades por medir la estadística de radiación electromagnética esparcida.

Actualmente emerger roughness de machined las superficies está medida por seguir un bueno stylus a lo largo de una superficie para obtener un perfil de qué la superficie puede ser clasificado.

En la invención presente la radiación electromagnética es shone a una superficie y la radiación reflejada procesaron para proporcionar una medida de la superficie roughness.

Según esta invención un método de medir superficie roughness comprende los pasos de dirigir una viga de radiación electromagnética a una área pequeña de una superficie para ser medida, aplicando un movimiento relativo entre la superficie y la viga en una dirección habiendo un componente normal a la viga, detectando intensidad de la radiación esparcida en uno o más ángulos de la superficie y procesando la radiación detectada para determinar características de las irregularidades de superficie.

Apparatus Para llevar a cabo el método de esta invención puede comprender una fuente de radiación electromagnética para illuminating una porción pequeña de una superficie para ser medida con una viga de radiación, el detector significa para medir la radiación reflejada de una superficie en un ángulo a aquella superficie, significa para producir movimiento de traducción relativa entre la viga y la superficie, y circuitry para producir los valores de media e intensidad mediana de la plaza de la intensidad de midió radiación reflejada.

En principio la información adicional puede ser asequible de medias de poderes más altos de la intensidad.

La fuente puede proporcionar radiación electromagnética de cualquier longitud de onda .Lambda., por ejemplo puede ser un láser, operando en el visible o infra espectro rojo, un ultra fuente violeta, una fuente de radiografía o una fuente de microonda.

La luz visible puede ser producida por alto brightness fuentes otro que un láser, por ejemplo lámparas de mercurio.

La invención ahora será descrita, por manera de ejemplo sólo, en los dibujos acompañantes del cual:

HIGO. 1 es una vista esquemática de apparatus para medir superficie roughness;

HIGO. 2 espectáculos una producción actual típica de un detector con tiempo;

HIGO. 3 es una cruz-sección de una superficie áspera sencilla illuminated por una ola de avión;

HIGO. 4 es una vista de plan de HIGO. 3 mostrando cumbres sólo;

HIGOS. 5, 6, 7, 8 espectáculo arreglos diferentes para procesar información de los detectores;

HIGO. 9 espectáculos una función de correlación de intensidad espacial.

Nota: Traducción automatizada de una patente publicada en la oficina de patentes de EEUU. Ver texto original

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